1.稀贵金属提纯烧结用真空烧结炉设备用途

　　本系列真空炉为周期作业式，采用石墨管或石墨棒(为发热元件，适用于金属材料，无机非金属材料，在真空或保护气氛下进行烧结适用，也可用于光学材料的烧结提纯样品测试等适用.

　　2.主要技术参数

　　2.1 电源： 380V 50Hz

　　2.2 加热功率：36Kw ±10%

　　2.3 最高温度：2200℃

　　2.4 额定温度：0~2100℃

　　2.5 工作区尺寸：Φ120*300（D*Lmm）

　　2.6 控温区数：一区

　　2.7 控温方式：红外仪控温测温

　　2.8 控温精度：±1℃

　　2.9坩埚旋转速度：0-20r/min可调

　　2.10 冷态极限真空度：6.67*10-3Pa（空炉、冷态、烘烤除气后）

　　2.11 充气气氛：惰性气体

　　2.12 充气压力：≤0.05MPa

　　3.设备构成

　　序号名称数量序号名称数量

　　1炉盖12炉体1

　　3炉底14炉架1

　　5加热及隔热系统16坩埚旋转装置1

　　7真空系统18混气系统1

　　9控制系统110水冷却系统1

　　11变压器及联接电缆

　　4.结构及功能说明：

　　设备采用卧式坩埚旋转烧结结构，设备整体设计，操作高度相似与桌面高度，操作方便，设备主要有炉盖、炉体，炉架、真空系统、加热系统、水冷系统、炉盖开启机构，坩埚旋转机构，控制系统等组成。

　　4.1 炉盖

　　炉盖采用双层不锈钢（SUS304）水夹层平板结构，与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光，外壁拉丝处理。炉门上设有冷却水进出口、炉盖开启铰链及锁紧机构。炉盖上设有观察窗，可以实时观测炉内的烧结情况。

　　4.2 炉体

　　炉体采用双层不锈钢（SUS304）水夹层架构，与前后、法兰组焊成筒形结构，前后法兰平面上开设有燕尾型密封槽，采用O型硅橡胶密封圈密封。炉内壁精密抛光，外壁拉丝处理。炉体侧面设有冷却水进出口、真空抽气口、红外测温安装口等。

　　4.3 炉底

　　炉底采用双层不锈钢（SUS304）水夹层平板结构，与法兰组焊成一个整体。其中内壁精密抛光，外壁拉丝处理。法兰平面开设有燕尾型密封槽，采用O型硅橡胶密封圈密封。炉底设有坩埚旋转机构、密封采用真空磁流体密封，密封性好。还留自动充放气接口等，炉底与炉体用螺栓联接锁紧。

　　4.4 炉架

　　炉架采用型材焊接作为骨架，并配合数控钣金，组合成一个整体，作为整个设备的基础。同时，一体式设计整齐美观，操作方便。

　　4.5 加热及隔热系统

　　加热采用高纯石墨作发热体，纯度高，无挥发，有效保证炉腔内的清洁度。隔热材料采用石墨成型纤维软毡，保温效果好，耐冲击性好。整个隔热屏采用金属框架固定，便于安装与维护。

　　温度控制红外仪测温，低温时功率直接升温，待红外测温值到后采用红外仪直接控温测温。同时，在隔热屏外设置一支监控热电偶，监控隔热屏外温度，提高设备的安全使用性能。

　　4.6 坩埚旋转装置

　　采用一台高品质旋转电机带动磁流体旋转轴及坩埚同时旋转，坩埚速度可调，旋转轴与坩埚采用定位，易拆卸的结构。为防止坩埚在运动中可能脱落的可能，在炉盖上设计有一定位导向装置，保证坩埚运转安全。

　　4.7 真空系统

　　真空系统采用二级泵配置，由一台K-150油扩散泵，一台VRD-24机械泵、气动高真空蝶阀、旁路缓抽手动真空阀（供开始是抽真空时用，防止粉末材料被真空系统抽走。充气阀、放气阀、真空压力表、真空测量规管等组成，真空管道与泵的联接采用金属波纹管减缓震动，真空度的测量由睿宝数显复合真空计执行。

　　4.8 充放气系统

　　本设备配置一路充放系统，由流量计、电磁阀、手阀、接头等组成，可对炉内充保护气氛。并配有手阀，可以根据实际情况，适当调整气体流量。排出的气体客户可结合实际情况进行处理。

　　4.9 水冷系统

　　水冷系统由一台冷水机及进出水总管道、阀门及各支路组成。冷却水由冷水机进水总管进入后，经过各支管送到炉门、炉体、炉底、水冷电极、真空泵、冷阱等这些需要冷却水的地方，然后汇总到出水总管排出。总进水管路设有电接点压力表，具有断水声光报警并切断电源功能。各支路水管采用透明塑胶软管，通过不锈钢接头联接进出水总管道及设备各进出水口。每路冷却水进水管都装有手动阀门，可手动调节水流量大小。

　　4.10 控制系统：

　　控制加热系统有可控硅调压器+低压高流大功率变压器+测温装置，组成闭环控制系统，温度仪表采用程序仪表带PID自动调节功能，带自整定自我调整能力。稳定可靠，控制精度高。设备整体配有操作模拟屏，控制系统的操作都集中在上面，直观明了，操作简单可靠。同时如有需要控制系统可升级采用PLC+触摸屏的方式，温度真空数据可记录可查询，曲线可现实，数据可保存可导出，温度程序数据可编译可保存可调用。控制系统集中安放在炉架的一侧箱体内，整结大方，维修方便，所有器件均采用施耐德，西门子等知名品牌，保证使用安全。控制箱柜上都有安全警示贴，安装接线标准化制作。

　　4