基准级微压活塞压力计，提供微压溯源性
FPG8601是基准级微压活塞压力计，解决了活塞式压力计在微小压力范围内以极小的不确定度提供长期溯源性的需求。
优异的测量不确定度
该系统在表压和绝压模式下覆盖的量程均为0（绝压为0.5 Pa）～15 kPa（2.2 psi）。测量不确定度为读数的±30 ppm与一个非常小的门限误差的组合，足够小以能够校准量程低达130 Pa (1 Torr，0.5 in. H2O)甚至13 Pa (100 mTorr，0.05 in. H2O)的各种微压传递标准。 DHI有一份完整的不确定度分析报告（请参见DHI技术文章 2090TN05）说明FPG8601的测量不确定度。该仪器的稳定度取决于碳化钨活塞组和不锈钢砝码，所以FPG8601的校准间隔与传统的活塞式压力计相同，并没有其它特殊的维护要求。除了卓越的计量性能外，FPG8601还实现了全自动控制；合理的尺寸和重量，在典型的高端计量实验室环境下均可正常工作，没有额外要求。
支持表压、绝压和绝差压测量
FPG8601支持三种不同的测量模式：
表压模式：把FPG8601的下方压力室和测试的“低”侧连接在一起，并和环境大气压相同。
绝压模式：FPG8601的下方压力室被抽成真空，并用真空计测量残留真空。这种模式用于校准密封绝压的DUT。
绝差压模式：把FPG8601的下方压力室和测试的“低”测连接在一起并抽成真空。这种模式用于校准相对于真空的差压被检对象。
此外，FPG8601没有特殊环境要求，可安装在2m长的高质量实验台上。压力控制器常常安装在试验台下方。当需要使用绝压功能时，需要考虑真空泵的位置。如果需要，可以随系统提供定制的安装台。其工作环境要求为典型的高端计量实验室环境。
| 技术资料 | |
| 电源要求 | FPG8601：85～264VAC，50/60 Hz，最大60 VA VLPC：85～264 VAC，50/60 Hz，最大70 VA |
| 正常工作温度范围 | 20～26 ℃ |
| 环境温度稳定性 | 0.1 ℃/每分钟，最大变化率 |
| 重量 | FPG8601平台：30 kg (66 lb)
FPG8601 终端： 2 kg (4.4 lb) |
| VLPC压力控制器 | 41 kg (90.4 lb) |
| 尺寸 | FPG8601平台：53 cm 高×36 cm 宽×35 cm 深
FPG8601终端：12 cm 高×15 cm 宽×20 cm 深 VLPC 压力控制器：31 cm 高×51 cm 宽×53 cm 深 |
| 系统控制器 | 运行FPG Tools，Windows操作系统， RS232和 IEEE-488 接口，用于采集FPG 和 DUT 的数据 |
| 全压力量程 | 0～15 kPa表压、绝压、绝差压 |
| 测试介质 | 氮气或空气 |
| 模式转换时间 | 绝压至表压模式：30分钟
表压至绝压模式：1小时 |
| 振动 | 与传统的活塞式压力计相同，真空泵必须用软管连接 |
| 压力供给 | 活塞－套筒润滑气(FPG8601)：700～800 kPa，清洁、干燥的氮气或空气 |
| FPG参考真空（绝压模式）：涡轮泵：典型值为378 m3/h，极限压力为8.10-6 Pa | |
| 回转式叶片泵：16.5 m3/h，极限压力为0.2 Pa | |
| VLPC压力源：700～800 kPa，清洁、干燥的氮气 | |
| VLPC真空：10 m3/h @ 0.5 Pa | |
| 驱动气（FPG8601和VLPC）：400～700 kPa 压缩空气 | |
| 压力连接 | 测试高（FPG8601）：KF16
测试低（FPG8601）：KF16 真空参考（FPG8601）：KF25 真空（FPG8601）：1/8 in. NPT F 驱动/润滑（FPG8601）：1/8 in. NPT F 压力源（VLPC）：S1/8 in. NPT F 驱动（VLPC）：1/8 in. NPT F 真空（VLPC）：KF25 |
| 压力测量 | |
| 全量程 | 0～15 kPa 表压、绝压、绝差压 |
| 温度影响 | 监测仪器温度，并在温度变化的速率和大小对性能影响明显时，发出报警。 |
| 分辨力 | 标准：0.010 Pa 高分辨力选件：0.001 Pa |
| 典型压力测量
不确定度 | 标准：
表压、绝差压模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 读数) 绝压模式：± (0.025 Pa + 30 ppm 读数) |
| 高分辨力选件：
表压、绝差压模式：± (0.005 Pa + 30 ppm 读数) 绝压模式：± (0.008 Pa + 30 ppm 读数) | |
| 绝对模式下的典型残留真空 | 用涡轮分子泵：0.04～0.1 Pa
用回转式叶片泵：0.3 Pa～0.4 Pa |
| 压力控制 | |
| 控制范围（Pa） | 表压模式：5个交叠的控制范围 最小压力：0 最小受控压力：0.1 Pa |
| 绝压模式：5个交叠的控制范围
最小压力：0.4～1 Pa 最小受控压力：2 Pa | |
| 控制精度 | 标准：
表压模式：± (0.020 Pa + 100 ppm 量程) 绝压模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 高分辨力选件： 表压模式：± (0.005 Pa + 60 ppm 量程) 绝压模式：± (0.020 Pa + 30 ppm 量程) 注：控制精度为最差情况。绝压模式在较低范围时的常数更小。
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| 标称测试容积 | 表压模式：最高20 cc/侧（高和低）
绝压模式：最高500 cc/侧（高和低） 压力稳定时间：1～2分钟，取决于测试容积 |
| 活塞模块 | |
| 标称尺寸 | 直径：35 mm 面积：10 cm2 |
| 活塞材料 | 碳化钨 |
| 套筒材料 | 碳化钨 |
| 安装系统 | 非旋转，独立自定心，中央供气，润滑压力 |
| 活塞－套筒间隙 | 对称圆锥形间隙，双锥形，在中央润滑点为6微米，在活塞末端为1微米 |
| 润滑气体质量 | 清洁、干燥的氨气或空气，内部调整为40～70 %相对湿度 |
| 润滑气体压力 | 表压模式：40 kPa表压
绝压模式：40 kPa 绝压 润滑气流量：< 1 sccm 至高和低压力室 |
| 辅助测量 | |
| 活塞－缸体温度(℃) | 范围：0～40 分辨率：0.01 不确定度：± 0.1 |
| 残留真空(Pa) | 范围：0 ～ 13
分辨率：0.001 不确定度：± (0.5 % 读数 + 5 MPa) |
| 监控测量 | |
| 润滑气体温度(℃) | 范围：0 ～ 40 分辨率：0.1 不确定度：± 0.2 |
| 润滑气压力(kPa) | 范围：0 ～ 200 绝压
分辨率：0.001 不确定度：± 0.1 |
| 润滑气湿度(%RH) | 范围：5 ～ 95
分辨率：1 不确定度：± 10 |
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