等离子体就是处于电离状态的气体，其英文名称是plasma，它是由美国科学 muir，于1927年在研究低气压下蒸气中放电现象时命名的。等离子体由大量的子、中性原子、激发态原子、光子和自由基等组成，但电子和正离子的电荷数必须体表现出电中性，这就是“等离子体”的含义。等离子体具有导电和受电磁影响的许多方面与固体、液体和气体不同，因此又有人把它称为物质的第四种状态。根据状态、温度和离子密度，等离子体通常可以分为高温等离子体和低温等离子体（包子体和冷等离子体）。其中高温等离子体的电离度接近1，各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡状态，它主要应用在受控热核反应研究方面。而低温等离子体则学非平衡状态，各种粒子温度并不相同。其中电子温度( Te)≥离子温度(Ti)，可达104K以上，而其离子和中性粒子的温度却可低到300～500K。

　　一般气体放电子体属于低温等离子体。

　　截至2013年，对低温等离子体的作用机理研究认为是粒子非弹性碰撞的结果。低温等离富含电子、离子、自由基和激发态分子，其中高能电子与气体分子（原子）发生撞，将能量转换成基态分子（原子）的内能，喷涂废气处理设备，发生激发、离解和电离等一系列过秸处于活化状态。一方面打开了气体分子键，生成一些单分子和固体微粒；另一力生．OH、H2O2．等自由基和氧化性极强的O3，在这一过程中高能电子起决定性作用，离子的热运动只有副作用。常压下，气体放电产生的高度非平衡等离子体中电子温层氏度）远高于气体温度（室温100℃左右）。在非平衡等离子体中可能发生各种类型的化学反应，主要决定于电子的平均能量、电子密度、气体温度、有害气体分子浓度和≥气体成分。这为一些需要很大活化能的反应如大气中难降解污染物的去除提供了另外也可以对低浓度、高流速、大风量的含挥发性有机污染物和含硫类污染物等进行处理。

　　温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、离子、原子和自由基等活性粒子与废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。

　　低温等离子体废气处理成套设备和技术作为一种新型的气态污染物的治理技术是一个集物理学、化学、生物学和环境科学于一体的交叉综合性电子化学技术，由于能很容易使污染物分子分解且处理能耗低等特点，是目前国内外大气污染治理富有前景、行之有效的技术方法之一，其使用和推广前景广阔，为工业领域VOC类有机废气及恶臭气体的治理开辟了一条新的思路。

　　产品利用的高能高臭氧UV紫外线光束照射工业废气，裂解恶臭/工业废气使有机或无机高分子恶臭化合物分子链，在高能紫外线光束照射下，降解转变成低分子化合物，喷涂废气处理设备，如CO2、H2O等

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　　根据韩国环境研究所提供的资料显示，在实验室条件下，采用uv光氧除尘器工艺对单一的有机废气物质或恶臭气体物质严格控制进气浓度、气量及其他条件时，

　　uv光氧除尘器功率充足的情况下，测得uv光氧除尘器效率均可达到99%以上。但实际运用过程中，由于受到各种因素或者条件的影响，如废气成分复杂，废气浓度不稳定或者不能达到uv光氧除尘器适中的范围（浓度过高或过低均会影响其净化去除率），风量、气压、温度、湿度等环境条件不稳定或者达不到uv光氧除尘器的要求，废气预处理做的不够理想，后续排放管道没有留够充足的氧化反应管道等等，导致uv光氧除尘器的净化效率参差不齐，差异很大，甚至在满足所有外在条件的基础上，处理不同成分的废气其净化效率也有差别。所以很难单纯的去界定一套uv光氧除尘器设备对废气的净化去除率，我们只能说尽量的去调整影响uv光氧除尘器设备净化率的各种因素，尽量的去提高uv光氧除尘器工艺的净化效率。在各种因素都比较适宜的条件下，uv光氧除尘器系统在实际运用中是可以达到90%以上的，甚至某些成分的废气其净化效率可以达到95%以上甚至更高。光氧除尘净化器是应用广泛的一种除尘器设备，这种除尘设备除尘效率高、价格合理、占地面积小，所以深受广大用户青睐。